Dúnta TED · Foinse · Teanga: Deutsch

an Ghearmáin · Innealra tionsclaíoch

Teideal oifigiúil · Deutsch

Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik · an Ghearmáin

Féach ar fhógraí faoin ainm seo
Spriocdháta 7 Iúil 2026 12:00 UTC+02:00
Luach meastaGan fógairt
Foilsithe5 Meith 2026
Oscail an fógra oifigiúil ↗

Achoimre oifigiúil · Deutsch

Cad atá á sholáthar?

Gegenstand der Beschaffung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Hierzu sind insbesondere Anpassungen am Gasverteilungssystem zur Realisierung eines gepulsten Wolfram-Abscheidungsprozesses sowie die Integration zusätzlicher Hardware zur Ermöglichung von Depositionsdrücken bis 300 Torr erforderlich. Die Leistungen umfassen die Planung, Lieferung, Integration, Inbetriebnahme und Qualifizierung der erforderlichen Hard- und Softwareanpassungen am bestehenden Anlagensystem.

Stair na bhfógraí

Amlíne an tsoláthair

Lean na príomhchéimeanna agus na nuashonruithe a bhaineann leis an nós imeachta soláthair seo.

Níor sainaithníodh aon fhógra gaolmhar eile go fóill.

  1. Fógra comórtais Fógra reatha

    · TED 386607-2026

    Oscail an fógra oifigiúil ↗

Tá na sonraí athstruchtúrtha chun iad a léamh níos éasca. Is iad an fógra oifigiúil agus na doiciméid soláthair a bhíonn i réim i gcónaí.

Foinse agus iontaofacht

TED · 386607-2026. Seiceáilte ar 22 Lún 2026 18:05.

Tá na sonraí athstruchtúrtha chun iad a léamh níos éasca. Is iad an fógra oifigiúil agus na doiciméid soláthair a bhíonn i réim i gcónaí.

Tuairiscigh earráid trí ríomhphost