Suletud TED · Allikas · Keel: Deutsch

Saksamaa · Tööstusmasinad

Ametlik pealkiri · Deutsch

Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Saksamaa

Vaata selle nimega teateid
Tähtaeg 7. juuli 2026 12:00 UTC+02:00
Eeldatav maksumusTeatamata
Avaldatud5. juuni 2026
Avage ametlik teade ↗

Ametlik kokkuvõte · Deutsch

Mida hangitakse?

Gegenstand der Beschaffung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Hierzu sind insbesondere Anpassungen am Gasverteilungssystem zur Realisierung eines gepulsten Wolfram-Abscheidungsprozesses sowie die Integration zusätzlicher Hardware zur Ermöglichung von Depositionsdrücken bis 300 Torr erforderlich. Die Leistungen umfassen die Planung, Lieferung, Integration, Inbetriebnahme und Qualifizierung der erforderlichen Hard- und Softwareanpassungen am bestehenden Anlagensystem.

Teate ajalugu

Hankemenetluse ajajoon

Jälgige selle hankemenetlusega seotud põhietappe ja uuendusi.

Ühtegi muud seotud teadet ei ole veel tuvastatud.

  1. Hanketeade Praegune teade

    · TED 386607-2026

    Avage ametlik teade ↗

Andmed on lihtsamaks lugemiseks ümber struktureeritud. Alati on ülimuslikud ametlik teade ja hankedokumendid.

Allikas ja usaldusväärsus

TED · 386607-2026. Kontrollitud 22. aug 2026 18:05.

Andmed on lihtsamaks lugemiseks ümber struktureeritud. Alati on ülimuslikud ametlik teade ja hankedokumendid.

Teata veast e-posti teel