Затворена TED · Източник · Език: Deutsch

Германия · Промишлени машини

Официално заглавие · Deutsch

Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Германия

Вижте обявленията под това име
Краен срок 7.07.2026 г. 12:00 UTC+02:00
Прогнозна стойностНе е обявено
Публикувано5.06.2026 г.
Отворете официалното обявление ↗

Официално резюме · Deutsch

Какво се възлага?

Gegenstand der Beschaffung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Hierzu sind insbesondere Anpassungen am Gasverteilungssystem zur Realisierung eines gepulsten Wolfram-Abscheidungsprozesses sowie die Integration zusätzlicher Hardware zur Ermöglichung von Depositionsdrücken bis 300 Torr erforderlich. Die Leistungen umfassen die Planung, Lieferung, Integration, Inbetriebnahme und Qualifizierung der erforderlichen Hard- und Softwareanpassungen am bestehenden Anlagensystem.

История на обявлението

Хронология на процедурата за възлагане

Проследете основните етапи и актуализации, свързани с тази процедура за възлагане.

Все още не е открито друго свързано обявление.

  1. Обявление за състезателна процедура Текущо обявление

    · TED 386607-2026

    Отворете официалното обявление ↗

Данните са преструктурирани за по-лесно четене. Официалното обявление и документите винаги имат предимство.

Източник и надеждност

TED · 386607-2026. Проверено на 22.08.2026 г., 18:05 ч..

Данните са преструктурирани за по-лесно четене. Официалното обявление и документите винаги имат предимство.

Съобщете за грешка по имейл