Uzavřeno TED · Zdroj · Jazyk: Deutsch

Německo · Průmyslové stroje

Oficiální název · Deutsch

Upgrade of a 200 mm WxZ Tungsten CVD Chamber to WxZ Sprint Configuration

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Německo

Zobrazit oznámení pod tímto názvem
Lhůta 7. 7. 2026 12:00 UTC+02:00
Předpokládaná hodnotaNeuvedeno
Zveřejněno5. 6. 2026
Otevřít oficiální oznámení ↗

Oficiální shrnutí · Deutsch

Co je předmětem zakázky?

Gegenstand der Beschaffung ist das Upgrade eines bestehenden 200 mm Wolfram Chemical Vapor Deposition (CVD)-Systems des Herstellers Applied Materials Inc. (AMAT) auf eine WxZ Sprint Konfiguration. Hierzu sind insbesondere Anpassungen am Gasverteilungssystem zur Realisierung eines gepulsten Wolfram-Abscheidungsprozesses sowie die Integration zusätzlicher Hardware zur Ermöglichung von Depositionsdrücken bis 300 Torr erforderlich. Die Leistungen umfassen die Planung, Lieferung, Integration, Inbetriebnahme und Qualifizierung der erforderlichen Hard- und Softwareanpassungen am bestehenden Anlagensystem.

Historie oznámení

Časová osa zadávacího řízení

Sledujte hlavní fáze a aktualizace spojené s tímto zadávacím řízením.

Dosud nebylo nalezeno žádné další související oznámení.

  1. Oznámení o zahájení zadávacího řízení Aktuální oznámení

    · TED 386607-2026

    Otevřít oficiální oznámení ↗

Data jsou upravena pro snazší čtení. Oficiální oznámení a zadávací dokumentace mají vždy přednost.

Zdroj a spolehlivost

TED · 386607-2026. Ověřeno 22. 8. 2026 18:05.

Data jsou upravena pro snazší čtení. Oficiální oznámení a zadávací dokumentace mají vždy přednost.

Nahlásit chybu e-mailem