Uzatvorené TED · Zdroj · Jazyk: Deutsch

Nemecko · Laboratórne, optické a presné zariadenia

Oficiálny názov · Deutsch

Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS

Ruhr-Universität Bochum · Nemecko

Zobraziť oznámenia pod týmto názvom
Oficiálne zhrnutie · Deutsch

Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte…

Čo je predmetom obstarávania?
Lehota 14. 9. 2026 12:00 UTC+02:00
Predpokladaná hodnota1 024 000 EUR
Zverejnené13. 8. 2026
Otvoriť oficiálne oznámenie ↗

Oficiálne zhrnutie · Deutsch

Čo je predmetom obstarávania?

Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.

História oznámení

Časová os verejného obstarávania

Sledujte hlavné etapy a aktualizácie súvisiace s týmto postupom verejného obstarávania.

Zatiaľ sa nenašlo žiadne ďalšie súvisiace oznámenie.

  1. Oznámenie o verejnom obstarávaní Prezerané oznámenie

    · TED 562332-2026

    Otvoriť oficiálne oznámenie ↗

Údaje sú upravené na ľahšie čítanie. Oficiálne oznámenie a súťažné podklady majú vždy prednosť.

Zdroj a spoľahlivosť

TED · 562332-2026. Overené 24. 8. 2026, 17:05.

Údaje sú upravené na ľahšie čítanie. Oficiálne oznámenie a súťažné podklady majú vždy prednosť.

Nahlásiť chybu e-mailom