Resumen oficial · Deutsch
¿Qué se contrata?
Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.
Fuente y fiabilidad
Fuente: anuncio oficial de TED 562332-2026, comprobado por última vez el 21 ago. 2026 21:05. La publicación original sigue siendo la referencia.
Los datos se reestructuran para facilitar su lectura. El anuncio oficial y los documentos de contratación siempre prevalecen.