Oficjalne podsumowanie · Deutsch
Co jest przedmiotem zamówienia?
Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.
Pomocnicze tłumaczenie maszynowe. Oficjalne podsumowanie pozostaje rozstrzygające.
Oficjalne podsumowanie · Deutsch
Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.
Historia ogłoszeń
Oś czasu postępowania o udzielenie zamówienia
Śledź główne etapy i aktualizacje powiązane z tym postępowaniem o udzielenie zamówienia.
Nie znaleziono jeszcze żadnego innego powiązanego ogłoszenia.
-
Ogłoszenie o procedurze konkurencyjnej Przeglądane ogłoszenie
· TED 562332-2026
Otwórz oficjalne ogłoszenie ↗
Dane uporządkowano dla łatwiejszego czytania. Zawsze rozstrzygają oficjalne ogłoszenie i dokumenty zamówienia.
Źródło i wiarygodność
TED · 562332-2026. Sprawdzono 24 sie 2026, 17:05.
Dane uporządkowano dla łatwiejszego czytania. Zawsze rozstrzygają oficjalne ogłoszenie i dokumenty zamówienia.