Официално резюме · Deutsch
Какво се възлага?
Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.
Източник и надеждност
Източник: официално обявление в TED 562332-2026, последно проверено на 21.08.2026 г., 21:05 ч.. Оригиналната публикация остава меродавна.
Данните са преструктурирани за по-лесно четене. Официалното обявление и документите винаги имат предимство.