Sommarju uffiċjali · Deutsch
X’qed jiġi akkwistat?
Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.
Traduzzjoni awtomatika indikattiva. Is-sommarju uffiċjali jibqa’ r-referenza.
Sommarju uffiċjali · Deutsch
Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.
Storja tal-avviżi
Kronoloġija tal-akkwist
Segwi l-istadji ewlenin u l-aġġornamenti marbuta ma’ din il-proċedura ta’ akkwist.
S’issa ma ġie identifikat l-ebda avviż ieħor relatat.
Id-data hija ristrutturata biex tinqara aktar faċilment. L-avviż uffiċjali u d-dokumenti tal-akkwist dejjem jipprevalu.
Sors u affidabbiltà
TED · 562332-2026. Iċċekkjat fil-24 Aww 2026 17:05.
Id-data hija ristrutturata biex tinqara aktar faċilment. L-avviż uffiċjali u d-dokumenti tal-akkwist dejjem jipprevalu.