Sommarju uffiċjali · Deutsch
X’qed jiġi akkwistat?
Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.
Sors u affidabbiltà
Sors: avviż uffiċjali tat-TED 562332-2026, iċċekkjat l-aħħar fil-21 Aww 2026 21:05. Il-pubblikazzjoni oriġinali tibqa’ awtorevoli.
Id-data hija ristrutturata biex tinqara aktar faċilment. L-avviż uffiċjali u d-dokumenti tal-akkwist dejjem jipprevalu.