Sintesi ufficiale · Deutsch
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Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.
Fonte e affidabilità
Fonte: avviso TED ufficiale 562332-2026, verificato l’ultima volta il 21 ago 2026, 21:05. La pubblicazione originale resta il riferimento.
I dati sono riorganizzati per agevolarne la lettura. L’avviso ufficiale e i documenti di gara prevalgono sempre.