Résumé officiel · Deutsch
Quel est l’objet du marché ?
Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.
Source et fiabilité
Source : avis TED officiel 562332-2026, vérifié pour la dernière fois le 21 août 2026 à 21:05. La publication d’origine reste la référence.
Les données sont restructurées pour en faciliter la lecture. L’avis officiel et les documents du marché font toujours foi.