Achoimre oifigiúil · Deutsch
Cad atá á sholáthar?
Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.
Meaisínaistriúchán mar threoir. Is í an achoimre oifigiúil an tagairt údarásach.
Achoimre oifigiúil · Deutsch
Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.
Stair na bhfógraí
Amlíne an tsoláthair
Lean na príomhchéimeanna agus na nuashonruithe a bhaineann leis an nós imeachta soláthair seo.
Níor sainaithníodh aon fhógra gaolmhar eile go fóill.
Tá na sonraí athstruchtúrtha chun iad a léamh níos éasca. Is iad an fógra oifigiúil agus na doiciméid soláthair a bhíonn i réim i gcónaí.
Foinse agus iontaofacht
TED · 562332-2026. Seiceáilte ar 24 Lún 2026 17:05.
Tá na sonraí athstruchtúrtha chun iad a léamh níos éasca. Is iad an fógra oifigiúil agus na doiciméid soláthair a bhíonn i réim i gcónaí.