Închis TED · Sursă · Limbă: English

Elveția · Echipamente de laborator, optice și de precizie

Titlu oficial · English

Multitube thermal processing furnace (MTPF) for oxidation and LPCVD at the PSI PICO cleanroom

Paul Scherrer Institut (PSI) · Elveția

Vezi anunțurile sub acest nume
Rezumat oficial · English

The equipment to be procured is a multitube thermal processing furnace (MTPF) essential for the deposition of materials for quantum, photonic and x-ray applications of the groups at the LNQ and LXN laboratories and for all PSI cleanroom users. The MTPF should have a horizontal arrangement of the tubes and should be capable to process in one load up to 50 wafers of 200 mm diameter with good within-wafer, wafer-to-wafer and batch-to-batch uniformity. The…

Ce se achiziționează?
Termen-limită 21 aug. 2026 14:00 UTC+02:00
Valoare estimatăNeanunțat
Publicat16 iul. 2026
Deschideți anunțul oficial ↗

Rezumat oficial · English

Ce se achiziționează?

The equipment to be procured is a multitube thermal processing furnace (MTPF) essential for the deposition of materials for quantum, photonic and x-ray applications of the groups at the LNQ and LXN laboratories and for all PSI cleanroom users. The MTPF should have a horizontal arrangement of the tubes and should be capable to process in one load up to 50 wafers of 200 mm diameter with good within-wafer, wafer-to-wafer and batch-to-batch uniformity. The MTPF should have an automation option allowing to process, at least, 4 wafer batches of 50 wafers in the same or different tubes one after the other without the presence of operator. The MTPF shall be delivered with four 200 mm compatible tubes: – Tube 1: atmospheric thermal dry and wet oxidation (quartz tube up to 1050°C; optional SiC tube

Istoricul anunțului

Cronologia procedurii de achiziție

Urmăriți principalele etape și actualizări legate de această procedură de achiziție.

Nu a fost identificat încă niciun alt anunț asociat.

  1. Anunț de rectificare Anunțul curent

    · TED 491989-2026

    Secțiuni modificate: 1 Deschideți anunțul oficial ↗

Datele sunt restructurate pentru o lectură mai ușoară. Anunțul oficial și documentele achiziției prevalează întotdeauna.

Sursă și fiabilitate

TED · 491989-2026. Verificat la 23 aug. 2026, 18:05.

Datele sunt restructurate pentru o lectură mai ușoară. Anunțul oficial și documentele achiziției prevalează întotdeauna.

Semnalați o eroare prin e-mail