Rezumat oficial · English
Ce se achiziționează?
The equipment to be procured is a multitube thermal processing furnace (MTPF) essential for the deposition of materials for quantum, photonic and x-ray applications of the groups at the LNQ and LXN laboratories and for all PSI cleanroom users. The MTPF should have a horizontal arrangement of the tubes and should be capable to process in one load up to 50 wafers of 200 mm diameter with good within-wafer, wafer-to-wafer and batch-to-batch uniformity. The MTPF should have an automation option allowing to process, at least, 4 wafer batches of 50 wafers in the same or different tubes one after the other without the presence of operator. The MTPF shall be delivered with four 200 mm compatible tubes: – Tube 1: atmospheric thermal dry and wet oxidation (quartz tube up to 1050°C; optional SiC tube
Traducere automată orientativă. Rezumatul oficial rămâne referința.
Rezumat oficial · English
The equipment to be procured is a multitube thermal processing furnace (MTPF) essential for the deposition of materials for quantum, photonic and x-ray applications of the groups at the LNQ and LXN laboratories and for all PSI cleanroom users. The MTPF should have a horizontal arrangement of the tubes and should be capable to process in one load up to 50 wafers of 200 mm diameter with good within-wafer, wafer-to-wafer and batch-to-batch uniformity. The MTPF should have an automation option allowing to process, at least, 4 wafer batches of 50 wafers in the same or different tubes one after the other without the presence of operator. The MTPF shall be delivered with four 200 mm compatible tubes: – Tube 1: atmospheric thermal dry and wet oxidation (quartz tube up to 1050°C; optional SiC tube
Gratuit
Primiți următoarele licitații din acest sector
Primiți săptămânal un e-mail cu anunțuri noi care corespund criteriilor dvs. Verificați sau ajustați criteriile înainte de a activa alerta gratuită.
Istoricul anunțului
Cronologia procedurii de achiziție
Urmăriți principalele etape și actualizări legate de această procedură de achiziție.
Nu a fost identificat încă niciun alt anunț asociat.
-
Anunț de rectificare Anunțul curent
· TED 491989-2026
Secțiuni modificate: 1 Deschideți anunțul oficial ↗
Datele sunt restructurate pentru o lectură mai ușoară. Anunțul oficial și documentele achiziției prevalează întotdeauna.
Sursă și fiabilitate
TED · 491989-2026. Verificat la 23 aug. 2026, 18:05.
Datele sunt restructurate pentru o lectură mai ușoară. Anunțul oficial și documentele achiziției prevalează întotdeauna.