Uždarytas TED · Šaltinis · Kalba: English

Šveicarija · Laboratorinė, optinė ir tikslioji įranga

Oficialus pavadinimas · English

Multitube thermal processing furnace (MTPF) for oxidation and LPCVD at the PSI PICO cleanroom

Paul Scherrer Institut (PSI) · Šveicarija

Peržiūrėti skelbimus šiuo pavadinimu
Oficiali santrauka · English

The equipment to be procured is a multitube thermal processing furnace (MTPF) essential for the deposition of materials for quantum, photonic and x-ray applications of the groups at the LNQ and LXN laboratories and for all PSI cleanroom users. The MTPF should have a horizontal arrangement of the tubes and should be capable to process in one load up to 50 wafers of 200 mm diameter with good within-wafer, wafer-to-wafer and batch-to-batch uniformity. The…

Kas perkama?
Terminas 2026-08-21 14:00 UTC+02:00
Numatoma vertėNepaskelbta
Paskelbta2026-07-16
Atidaryti oficialų skelbimą ↗

Oficiali santrauka · English

Kas perkama?

The equipment to be procured is a multitube thermal processing furnace (MTPF) essential for the deposition of materials for quantum, photonic and x-ray applications of the groups at the LNQ and LXN laboratories and for all PSI cleanroom users. The MTPF should have a horizontal arrangement of the tubes and should be capable to process in one load up to 50 wafers of 200 mm diameter with good within-wafer, wafer-to-wafer and batch-to-batch uniformity. The MTPF should have an automation option allowing to process, at least, 4 wafer batches of 50 wafers in the same or different tubes one after the other without the presence of operator. The MTPF shall be delivered with four 200 mm compatible tubes: – Tube 1: atmospheric thermal dry and wet oxidation (quartz tube up to 1050°C; optional SiC tube

Skelbimo istorija

Pirkimo procedūros laiko juosta

Sekite pagrindinius šios pirkimo procedūros etapus ir atnaujinimus.

Kol kas nenustatyta jokių kitų susijusių skelbimų.

  1. Pataisymo skelbimas Dabartinis skelbimas

    · TED 491989-2026

    Pakeisti skyriai: 1 Atidaryti oficialų skelbimą ↗

Duomenys pertvarkyti, kad būtų lengviau skaityti. Oficialus skelbimas ir pirkimo dokumentai visada turi pirmenybę.

Šaltinis ir patikimumas

TED · 491989-2026. Patikrinta 2026-08-23 18:05.

Duomenys pertvarkyti, kad būtų lengviau skaityti. Oficialus skelbimas ir pirkimo dokumentai visada turi pirmenybę.

Pranešti apie klaidą el. paštu