Официално резюме · English
Какво се възлага?
The equipment to be procured is a multitube thermal processing furnace (MTPF) essential for the deposition of materials for quantum, photonic and x-ray applications of the groups at the LNQ and LXN laboratories and for all PSI cleanroom users. The MTPF should have a horizontal arrangement of the tubes and should be capable to process in one load up to 50 wafers of 200 mm diameter with good within-wafer, wafer-to-wafer and batch-to-batch uniformity. The MTPF should have an automation option allowing to process, at least, 4 wafer batches of 50 wafers in the same or different tubes one after the other without the presence of operator. The MTPF shall be delivered with four 200 mm compatible tubes: – Tube 1: atmospheric thermal dry and wet oxidation (quartz tube up to 1050°C; optional SiC tube
Машинен превод за ориентация. Официалното резюме остава меродавно.
Официално резюме · English
The equipment to be procured is a multitube thermal processing furnace (MTPF) essential for the deposition of materials for quantum, photonic and x-ray applications of the groups at the LNQ and LXN laboratories and for all PSI cleanroom users. The MTPF should have a horizontal arrangement of the tubes and should be capable to process in one load up to 50 wafers of 200 mm diameter with good within-wafer, wafer-to-wafer and batch-to-batch uniformity. The MTPF should have an automation option allowing to process, at least, 4 wafer batches of 50 wafers in the same or different tubes one after the other without the presence of operator. The MTPF shall be delivered with four 200 mm compatible tubes: – Tube 1: atmospheric thermal dry and wet oxidation (quartz tube up to 1050°C; optional SiC tube
Безплатно
Получавайте следващите поръчки в този сектор
Получавайте седмичен имейл с нови обявления по вашите критерии. Проверете или променете критериите, преди да активирате безплатното известяване.
История на обявлението
Хронология на процедурата за възлагане
Проследете основните етапи и актуализации, свързани с тази процедура за възлагане.
Все още не е открито друго свързано обявление.
-
Обявление за поправка Текущо обявление
· TED 491989-2026
Променени раздели: 1 Отворете официалното обявление ↗
Данните са преструктурирани за по-лесно четене. Официалното обявление и документите винаги имат предимство.
Източник и надеждност
TED · 491989-2026. Проверено на 23.08.2026 г., 18:05 ч..
Данните са преструктурирани за по-лесно четене. Официалното обявление и документите винаги имат предимство.