Затворена TED · Източник · Език: English

Швейцария · Лабораторно, оптично и прецизно оборудване

Официално заглавие · English

Multitube thermal processing furnace (MTPF) for oxidation and LPCVD at the PSI PICO cleanroom

Paul Scherrer Institut (PSI) · Швейцария

Вижте обявленията под това име
Официално резюме · English

The equipment to be procured is a multitube thermal processing furnace (MTPF) essential for the deposition of materials for quantum, photonic and x-ray applications of the groups at the LNQ and LXN laboratories and for all PSI cleanroom users. The MTPF should have a horizontal arrangement of the tubes and should be capable to process in one load up to 50 wafers of 200 mm diameter with good within-wafer, wafer-to-wafer and batch-to-batch uniformity. The…

Какво се възлага?
Краен срок 21.08.2026 г. 14:00 UTC+02:00
Прогнозна стойностНе е обявено
Публикувано16.07.2026 г.
Отворете официалното обявление ↗

Официално резюме · English

Какво се възлага?

The equipment to be procured is a multitube thermal processing furnace (MTPF) essential for the deposition of materials for quantum, photonic and x-ray applications of the groups at the LNQ and LXN laboratories and for all PSI cleanroom users. The MTPF should have a horizontal arrangement of the tubes and should be capable to process in one load up to 50 wafers of 200 mm diameter with good within-wafer, wafer-to-wafer and batch-to-batch uniformity. The MTPF should have an automation option allowing to process, at least, 4 wafer batches of 50 wafers in the same or different tubes one after the other without the presence of operator. The MTPF shall be delivered with four 200 mm compatible tubes: – Tube 1: atmospheric thermal dry and wet oxidation (quartz tube up to 1050°C; optional SiC tube

История на обявлението

Хронология на процедурата за възлагане

Проследете основните етапи и актуализации, свързани с тази процедура за възлагане.

Все още не е открито друго свързано обявление.

  1. Обявление за поправка Текущо обявление

    · TED 491989-2026

    Променени раздели: 1 Отворете официалното обявление ↗

Данните са преструктурирани за по-лесно четене. Официалното обявление и документите винаги имат предимство.

Източник и надеждност

TED · 491989-2026. Проверено на 23.08.2026 г., 18:05 ч..

Данните са преструктурирани за по-лесно четене. Официалното обявление и документите винаги имат предимство.

Съобщете за грешка по имейл