Lezárt TED · Forrás · Nyelv: English

Svájc · Laboratóriumi, optikai és precíziós berendezések

Hivatalos cím · English

Multitube thermal processing furnace (MTPF) for oxidation and LPCVD at the PSI PICO cleanroom

Paul Scherrer Institut (PSI) · Svájc

Az e néven megjelent hirdetmények
Hivatalos összefoglaló · English

The equipment to be procured is a multitube thermal processing furnace (MTPF) essential for the deposition of materials for quantum, photonic and x-ray applications of the groups at the LNQ and LXN laboratories and for all PSI cleanroom users. The MTPF should have a horizontal arrangement of the tubes and should be capable to process in one load up to 50 wafers of 200 mm diameter with good within-wafer, wafer-to-wafer and batch-to-batch uniformity. The…

Mi a beszerzés tárgya?
Határidő 2026. aug. 21. 14:00 UTC+02:00
Becsült értékNincs megadva
Közzétéve2026. júl. 16.
Hivatalos hirdetmény megnyitása ↗

Hivatalos összefoglaló · English

Mi a beszerzés tárgya?

The equipment to be procured is a multitube thermal processing furnace (MTPF) essential for the deposition of materials for quantum, photonic and x-ray applications of the groups at the LNQ and LXN laboratories and for all PSI cleanroom users. The MTPF should have a horizontal arrangement of the tubes and should be capable to process in one load up to 50 wafers of 200 mm diameter with good within-wafer, wafer-to-wafer and batch-to-batch uniformity. The MTPF should have an automation option allowing to process, at least, 4 wafer batches of 50 wafers in the same or different tubes one after the other without the presence of operator. The MTPF shall be delivered with four 200 mm compatible tubes: – Tube 1: atmospheric thermal dry and wet oxidation (quartz tube up to 1050°C; optional SiC tube

A hirdetmény előzményei

A közbeszerzési eljárás idővonala

Kövesse a közbeszerzési eljáráshoz kapcsolódó főbb szakaszokat és frissítéseket.

Egyelőre nem azonosítottunk más kapcsolódó hirdetményt.

  1. Helyesbítő hirdetmény Jelenlegi hirdetmény

    · TED 491989-2026

    Módosított szakaszok: 1 Hivatalos hirdetmény megnyitása ↗

Az adatokat a könnyebb olvashatóság érdekében átrendezzük. Mindig a hivatalos hirdetmény és a közbeszerzési dokumentumok az irányadók.

Forrás és megbízhatóság

TED · 491989-2026. Ellenőrizve: 2026. aug. 23. 18:05.

Az adatokat a könnyebb olvashatóság érdekében átrendezzük. Mindig a hivatalos hirdetmény és a közbeszerzési dokumentumok az irányadók.

Hiba bejelentése e-mailben