Lukket TED · Kilde · Sprog: English

Schweiz · Laboratorie-, optisk og præcisionsudstyr

Officiel titel · English

Multitube thermal processing furnace (MTPF) for oxidation and LPCVD at the PSI PICO cleanroom

Paul Scherrer Institut (PSI) · Schweiz

Se udbud under dette navn
Officielt resumé · English

The equipment to be procured is a multitube thermal processing furnace (MTPF) essential for the deposition of materials for quantum, photonic and x-ray applications of the groups at the LNQ and LXN laboratories and for all PSI cleanroom users. The MTPF should have a horizontal arrangement of the tubes and should be capable to process in one load up to 50 wafers of 200 mm diameter with good within-wafer, wafer-to-wafer and batch-to-batch uniformity. The…

Hvad indkøbes?
Frist 21. aug. 2026 14:00 UTC+02:00
Anslået værdiIkke oplyst
Offentliggjort16. jul. 2026
Åbn officiel meddelelse ↗

Officielt resumé · English

Hvad indkøbes?

The equipment to be procured is a multitube thermal processing furnace (MTPF) essential for the deposition of materials for quantum, photonic and x-ray applications of the groups at the LNQ and LXN laboratories and for all PSI cleanroom users. The MTPF should have a horizontal arrangement of the tubes and should be capable to process in one load up to 50 wafers of 200 mm diameter with good within-wafer, wafer-to-wafer and batch-to-batch uniformity. The MTPF should have an automation option allowing to process, at least, 4 wafer batches of 50 wafers in the same or different tubes one after the other without the presence of operator. The MTPF shall be delivered with four 200 mm compatible tubes: – Tube 1: atmospheric thermal dry and wet oxidation (quartz tube up to 1050°C; optional SiC tube

Meddelelseshistorik

Udbudsforløb

Følg de vigtigste faser og opdateringer i dette udbud.

Der er endnu ikke fundet en anden relateret meddelelse.

  1. Berigtigelse Aktuel meddelelse

    · TED 491989-2026

    Ændrede afsnit: 1 Åbn officiel meddelelse ↗

Data er omstruktureret for at være lettere at læse. Den officielle meddelelse og udbudsdokumenterne er altid gældende.

Kilde og pålidelighed

TED · 491989-2026. Kontrolleret 23. aug. 2026 18.05.

Data er omstruktureret for at være lettere at læse. Den officielle meddelelse og udbudsdokumenterne er altid gældende.

Indberet en fejl via e-mail