Κλειστή TED · Πηγή · Γλώσσα: English

Ελβετία · Εργαστηριακός, οπτικός και εξοπλισμός ακριβείας

Επίσημος τίτλος · English

Multitube thermal processing furnace (MTPF) for oxidation and LPCVD at the PSI PICO cleanroom

Paul Scherrer Institut (PSI) · Ελβετία

Δείτε προκηρύξεις με αυτό το όνομα
Επίσημη περίληψη · English

The equipment to be procured is a multitube thermal processing furnace (MTPF) essential for the deposition of materials for quantum, photonic and x-ray applications of the groups at the LNQ and LXN laboratories and for all PSI cleanroom users. The MTPF should have a horizontal arrangement of the tubes and should be capable to process in one load up to 50 wafers of 200 mm diameter with good within-wafer, wafer-to-wafer and batch-to-batch uniformity. The…

Τι αποτελεί αντικείμενο της σύμβασης;
Προθεσμία 21 Αυγ 2026 14:00 UTC+02:00
Εκτιμώμενη αξίαΔεν ανακοινώθηκε
Δημοσιεύθηκε16 Ιουλ 2026
Άνοιγμα επίσημης προκήρυξης ↗

Επίσημη περίληψη · English

Τι αποτελεί αντικείμενο της σύμβασης;

The equipment to be procured is a multitube thermal processing furnace (MTPF) essential for the deposition of materials for quantum, photonic and x-ray applications of the groups at the LNQ and LXN laboratories and for all PSI cleanroom users. The MTPF should have a horizontal arrangement of the tubes and should be capable to process in one load up to 50 wafers of 200 mm diameter with good within-wafer, wafer-to-wafer and batch-to-batch uniformity. The MTPF should have an automation option allowing to process, at least, 4 wafer batches of 50 wafers in the same or different tubes one after the other without the presence of operator. The MTPF shall be delivered with four 200 mm compatible tubes: – Tube 1: atmospheric thermal dry and wet oxidation (quartz tube up to 1050°C; optional SiC tube

Ιστορικό γνωστοποιήσεων

Χρονολόγιο διαδικασίας σύναψης σύμβασης

Παρακολουθήστε τα κύρια στάδια και τις ενημερώσεις που συνδέονται με αυτή τη διαδικασία σύναψης σύμβασης.

Δεν έχει ακόμη εντοπιστεί άλλη σχετική γνωστοποίηση.

  1. Γνωστοποίηση διόρθωσης Τρέχουσα γνωστοποίηση

    · TED 491989-2026

    Τροποποιημένες ενότητες: 1 Άνοιγμα επίσημης προκήρυξης ↗

Τα δεδομένα έχουν αναδιαρθρωθεί για ευκολότερη ανάγνωση. Η επίσημη προκήρυξη και τα έγγραφα της σύμβασης υπερισχύουν πάντα.

Πηγή και αξιοπιστία

TED · 491989-2026. Ελέγχθηκε στις 23 Αυγ 2026, 6:05 μ.μ..

Τα δεδομένα έχουν αναδιαρθρωθεί για ευκολότερη ανάγνωση. Η επίσημη προκήρυξη και τα έγγραφα της σύμβασης υπερισχύουν πάντα.

Αναφορά σφάλματος μέσω email