Zamknięte TED · Źródło · Język: English

Szwajcaria · Sprzęt laboratoryjny, optyczny i precyzyjny

Oficjalny tytuł · English

Multitube thermal processing furnace (MTPF) for oxidation and LPCVD at the PSI PICO cleanroom

Paul Scherrer Institut (PSI) · Szwajcaria

Zobacz ogłoszenia pod tą nazwą
Oficjalne podsumowanie · English

The equipment to be procured is a multitube thermal processing furnace (MTPF) essential for the deposition of materials for quantum, photonic and x-ray applications of the groups at the LNQ and LXN laboratories and for all PSI cleanroom users. The MTPF should have a horizontal arrangement of the tubes and should be capable to process in one load up to 50 wafers of 200 mm diameter with good within-wafer, wafer-to-wafer and batch-to-batch uniformity. The…

Co jest przedmiotem zamówienia?
Termin 21 sie 2026 14:00 UTC+02:00
Szacunkowa wartośćNie podano
Opublikowano16 lip 2026
Otwórz oficjalne ogłoszenie ↗

Oficjalne podsumowanie · English

Co jest przedmiotem zamówienia?

The equipment to be procured is a multitube thermal processing furnace (MTPF) essential for the deposition of materials for quantum, photonic and x-ray applications of the groups at the LNQ and LXN laboratories and for all PSI cleanroom users. The MTPF should have a horizontal arrangement of the tubes and should be capable to process in one load up to 50 wafers of 200 mm diameter with good within-wafer, wafer-to-wafer and batch-to-batch uniformity. The MTPF should have an automation option allowing to process, at least, 4 wafer batches of 50 wafers in the same or different tubes one after the other without the presence of operator. The MTPF shall be delivered with four 200 mm compatible tubes: – Tube 1: atmospheric thermal dry and wet oxidation (quartz tube up to 1050°C; optional SiC tube

Historia ogłoszeń

Oś czasu postępowania o udzielenie zamówienia

Śledź główne etapy i aktualizacje powiązane z tym postępowaniem o udzielenie zamówienia.

Nie znaleziono jeszcze żadnego innego powiązanego ogłoszenia.

  1. Ogłoszenie o sprostowaniu Bieżące ogłoszenie

    · TED 491989-2026

    Zmienione sekcje: 1 Otwórz oficjalne ogłoszenie ↗

Dane uporządkowano dla łatwiejszego czytania. Zawsze rozstrzygają oficjalne ogłoszenie i dokumenty zamówienia.

Źródło i wiarygodność

TED · 491989-2026. Sprawdzono 23 sie 2026, 18:05.

Dane uporządkowano dla łatwiejszego czytania. Zawsze rozstrzygają oficjalne ogłoszenie i dokumenty zamówienia.

Zgłoś błąd e-mailem