Gesloten TED · Bron · Taal: English

Zwitserland · Laboratorium-, optische en precisieapparatuur

Officiële titel · English

Multitube thermal processing furnace (MTPF) for oxidation and LPCVD at the PSI PICO cleanroom

Paul Scherrer Institut (PSI) · Zwitserland

Bekijk aankondigingen onder deze naam
Officiële samenvatting · English

The equipment to be procured is a multitube thermal processing furnace (MTPF) essential for the deposition of materials for quantum, photonic and x-ray applications of the groups at the LNQ and LXN laboratories and for all PSI cleanroom users. The MTPF should have a horizontal arrangement of the tubes and should be capable to process in one load up to 50 wafers of 200 mm diameter with good within-wafer, wafer-to-wafer and batch-to-batch uniformity. The…

Wat wordt ingekocht?
Termijn 21 aug. 2026 14:00 UTC+02:00
Geraamde waardeNiet vermeld
Gepubliceerd16 jul. 2026
Officiële aankondiging openen ↗

Officiële samenvatting · English

Wat wordt ingekocht?

The equipment to be procured is a multitube thermal processing furnace (MTPF) essential for the deposition of materials for quantum, photonic and x-ray applications of the groups at the LNQ and LXN laboratories and for all PSI cleanroom users. The MTPF should have a horizontal arrangement of the tubes and should be capable to process in one load up to 50 wafers of 200 mm diameter with good within-wafer, wafer-to-wafer and batch-to-batch uniformity. The MTPF should have an automation option allowing to process, at least, 4 wafer batches of 50 wafers in the same or different tubes one after the other without the presence of operator. The MTPF shall be delivered with four 200 mm compatible tubes: – Tube 1: atmospheric thermal dry and wet oxidation (quartz tube up to 1050°C; optional SiC tube

Historie van de aankondiging

Tijdlijn van de aanbestedingsprocedure

Volg de belangrijkste fasen en updates van deze aanbestedingsprocedure.

Er is nog geen andere gerelateerde aankondiging gevonden.

  1. Rectificatie Huidige aankondiging

    · TED 491989-2026

    Gewijzigde rubrieken: 1 Officiële aankondiging openen ↗

De gegevens zijn voor een betere leesbaarheid geordend. De officiële aankondiging en aanbestedingsstukken zijn altijd doorslaggevend.

Bron en betrouwbaarheid

TED · 491989-2026. Gecontroleerd op 23 aug. 2026 18:05.

De gegevens zijn voor een betere leesbaarheid geordend. De officiële aankondiging en aanbestedingsstukken zijn altijd doorslaggevend.

Een fout melden per e-mail