Officiële samenvatting · English
Wat wordt ingekocht?
The equipment to be procured is a multitube thermal processing furnace (MTPF) essential for the deposition of materials for quantum, photonic and x-ray applications of the groups at the LNQ and LXN laboratories and for all PSI cleanroom users. The MTPF should have a horizontal arrangement of the tubes and should be capable to process in one load up to 50 wafers of 200 mm diameter with good within-wafer, wafer-to-wafer and batch-to-batch uniformity. The MTPF should have an automation option allowing to process, at least, 4 wafer batches of 50 wafers in the same or different tubes one after the other without the presence of operator. The MTPF shall be delivered with four 200 mm compatible tubes: – Tube 1: atmospheric thermal dry and wet oxidation (quartz tube up to 1050°C; optional SiC tube
Machinevertaling ter ondersteuning. De officiële samenvatting blijft leidend.
Officiële samenvatting · English
The equipment to be procured is a multitube thermal processing furnace (MTPF) essential for the deposition of materials for quantum, photonic and x-ray applications of the groups at the LNQ and LXN laboratories and for all PSI cleanroom users. The MTPF should have a horizontal arrangement of the tubes and should be capable to process in one load up to 50 wafers of 200 mm diameter with good within-wafer, wafer-to-wafer and batch-to-batch uniformity. The MTPF should have an automation option allowing to process, at least, 4 wafer batches of 50 wafers in the same or different tubes one after the other without the presence of operator. The MTPF shall be delivered with four 200 mm compatible tubes: – Tube 1: atmospheric thermal dry and wet oxidation (quartz tube up to 1050°C; optional SiC tube
Gratis
Ontvang de volgende aanbestedingen in deze sector
Ontvang wekelijks een e-mail met nieuwe aankondigingen die bij uw criteria passen. Controleer of wijzig de criteria voordat u uw gratis melding activeert.
Historie van de aankondiging
Tijdlijn van de aanbestedingsprocedure
Volg de belangrijkste fasen en updates van deze aanbestedingsprocedure.
Er is nog geen andere gerelateerde aankondiging gevonden.
-
Rectificatie Huidige aankondiging
· TED 491989-2026
Gewijzigde rubrieken: 1 Officiële aankondiging openen ↗
De gegevens zijn voor een betere leesbaarheid geordend. De officiële aankondiging en aanbestedingsstukken zijn altijd doorslaggevend.
Bron en betrouwbaarheid
TED · 491989-2026. Gecontroleerd op 23 aug. 2026 18:05.
De gegevens zijn voor een betere leesbaarheid geordend. De officiële aankondiging en aanbestedingsstukken zijn altijd doorslaggevend.