Virallinen yhteenveto · English
Mitä hankitaan?
The equipment to be procured is a multitube thermal processing furnace (MTPF) essential for the deposition of materials for quantum, photonic and x-ray applications of the groups at the LNQ and LXN laboratories and for all PSI cleanroom users. The MTPF should have a horizontal arrangement of the tubes and should be capable to process in one load up to 50 wafers of 200 mm diameter with good within-wafer, wafer-to-wafer and batch-to-batch uniformity. The MTPF should have an automation option allowing to process, at least, 4 wafer batches of 50 wafers in the same or different tubes one after the other without the presence of operator. The MTPF shall be delivered with four 200 mm compatible tubes: – Tube 1: atmospheric thermal dry and wet oxidation (quartz tube up to 1050°C; optional SiC tube
Suuntaa antava konekäännös. Virallinen yhteenveto on edelleen ensisijainen.
Virallinen yhteenveto · English
The equipment to be procured is a multitube thermal processing furnace (MTPF) essential for the deposition of materials for quantum, photonic and x-ray applications of the groups at the LNQ and LXN laboratories and for all PSI cleanroom users. The MTPF should have a horizontal arrangement of the tubes and should be capable to process in one load up to 50 wafers of 200 mm diameter with good within-wafer, wafer-to-wafer and batch-to-batch uniformity. The MTPF should have an automation option allowing to process, at least, 4 wafer batches of 50 wafers in the same or different tubes one after the other without the presence of operator. The MTPF shall be delivered with four 200 mm compatible tubes: – Tube 1: atmospheric thermal dry and wet oxidation (quartz tube up to 1050°C; optional SiC tube
Ilmainen
Saa tämän alan seuraavat tarjouskilpailut
Saat viikoittain sähköpostin uusista hakuehtojasi vastaavista ilmoituksista. Tarkista tai muokkaa ehtoja ennen maksuttoman ilmoitusvahdin käyttöönottoa.
Ilmoitushistoria
Hankintamenettelyn aikajana
Seuraa tähän hankintamenettelyyn liittyviä päävaiheita ja päivityksiä.
Muita tähän liittyviä ilmoituksia ei ole vielä tunnistettu.
Tiedot on jäsennetty helpommin luettaviksi. Virallinen ilmoitus ja hankinta-asiakirjat ovat aina ratkaisevia.
Lähde ja luotettavuus
TED · 491989-2026. Tarkistettu 23.8.2026 klo 18.05.
Tiedot on jäsennetty helpommin luettaviksi. Virallinen ilmoitus ja hankinta-asiakirjat ovat aina ratkaisevia.