Suljettu TED · Lähde · Kieli: English

Sveitsi · Laboratorio-, optiset ja tarkkuuslaitteet

Virallinen otsikko · English

Multitube thermal processing furnace (MTPF) for oxidation and LPCVD at the PSI PICO cleanroom

Paul Scherrer Institut (PSI) · Sveitsi

Näytä tällä nimellä julkaistut ilmoitukset
Virallinen yhteenveto · English

The equipment to be procured is a multitube thermal processing furnace (MTPF) essential for the deposition of materials for quantum, photonic and x-ray applications of the groups at the LNQ and LXN laboratories and for all PSI cleanroom users. The MTPF should have a horizontal arrangement of the tubes and should be capable to process in one load up to 50 wafers of 200 mm diameter with good within-wafer, wafer-to-wafer and batch-to-batch uniformity. The…

Mitä hankitaan?
Määräaika 21.8.2026 14:00 UTC+02:00
Arvioitu arvoEi ilmoitettu
Julkaistu16.7.2026
Avaa virallinen ilmoitus ↗

Virallinen yhteenveto · English

Mitä hankitaan?

The equipment to be procured is a multitube thermal processing furnace (MTPF) essential for the deposition of materials for quantum, photonic and x-ray applications of the groups at the LNQ and LXN laboratories and for all PSI cleanroom users. The MTPF should have a horizontal arrangement of the tubes and should be capable to process in one load up to 50 wafers of 200 mm diameter with good within-wafer, wafer-to-wafer and batch-to-batch uniformity. The MTPF should have an automation option allowing to process, at least, 4 wafer batches of 50 wafers in the same or different tubes one after the other without the presence of operator. The MTPF shall be delivered with four 200 mm compatible tubes: – Tube 1: atmospheric thermal dry and wet oxidation (quartz tube up to 1050°C; optional SiC tube

Ilmoitushistoria

Hankintamenettelyn aikajana

Seuraa tähän hankintamenettelyyn liittyviä päävaiheita ja päivityksiä.

Muita tähän liittyviä ilmoituksia ei ole vielä tunnistettu.

  1. Korjausilmoitus Nykyinen ilmoitus

    · TED 491989-2026

    Muutetut osiot: 1 Avaa virallinen ilmoitus ↗

Tiedot on jäsennetty helpommin luettaviksi. Virallinen ilmoitus ja hankinta-asiakirjat ovat aina ratkaisevia.

Lähde ja luotettavuus

TED · 491989-2026. Tarkistettu 23.8.2026 klo 18.05.

Tiedot on jäsennetty helpommin luettaviksi. Virallinen ilmoitus ja hankinta-asiakirjat ovat aina ratkaisevia.

Ilmoita virheestä sähköpostitse