Nahradené TED · Zdroj · Jazyk: English

Je k dispozícii novšia publikácia.
Oznámenie o oprave · TED 700865-2026 ·

Zobraziť oznámenie na Tenderiva

Švédsko · Priemyselné stroje

Oficiálny názov · English

Deep Reaction Ion Etcher (DRIE)

Uppsala universitet · Švédsko

Zobraziť oznámenia pod týmto názvom
Oficiálne zhrnutie · English

Myfab Uppsala aims at purchasing a Deep Reaction Ion Etcher (DRIE). The purpose of the tool is to transfer patterns defined by e.g., photo- and electron beam lithography covering the pattens size range from all substrate range down to a few nanometres. The system will be used by many operators in a university laboratory environment. It must be easy to use and be insensitive to frequent change of process between batches. The processes include broad range…

Čo je predmetom obstarávania?
Lehota 10. 11. 2026 00:00 UTC+01:00
Predpokladaná hodnota1 SEK
Zverejnené8. 10. 2026
Otvoriť súťažné podklady ↗
e-avrop.com

Platforma obstarávateľa môže vyžadovať registráciu. Ponuku predložte na tejto platforme.

Oficiálne zhrnutie · English

Čo je predmetom obstarávania?

Myfab Uppsala aims at purchasing a Deep Reaction Ion Etcher (DRIE). The purpose of the tool is to transfer patterns defined by e.g., photo- and electron beam lithography covering the pattens size range from all substrate range down to a few nanometres. The system will be used by many operators in a university laboratory environment. It must be easy to use and be insensitive to frequent change of process between batches. The processes include broad range of etching capability: low to high etch rate, wafer dicing, high uniformity, high open area, high aspect ratio, and nanometre scale. The system is intended for etching of silicon as well as other materials compatible with silicon etching, with both photoresist resins and hard masks for patterning.

História oznámení

Časová os verejného obstarávania

Sledujte hlavné etapy a aktualizácie súvisiace s týmto postupom verejného obstarávania.

  1. Oznámenie o verejnom obstarávaní Prezerané oznámenie

    · TED 693624-2026

    Otvoriť oficiálne oznámenie ↗
  2. Oznámenie o oprave

    · TED 700865-2026

    Zmenené časti: 1

    Zobraziť oznámenie na Tenderiva

    Otvoriť oficiálne oznámenie ↗

Údaje sú upravené na ľahšie čítanie. Oficiálne oznámenie a súťažné podklady majú vždy prednosť.

Zdroj a spoľahlivosť

TED · 693624-2026. Overené 8. 10. 2026, 11:05.

Údaje sú upravené na ľahšie čítanie. Oficiálne oznámenie a súťažné podklady majú vždy prednosť.

Nahlásiť chybu e-mailom