Hivatalos összefoglaló · English
Mi a beszerzés tárgya?
Myfab Uppsala aims at purchasing a Deep Reaction Ion Etcher (DRIE). The purpose of the tool is to transfer patterns defined by e.g., photo- and electron beam lithography covering the pattens size range from all substrate range down to a few nanometres. The system will be used by many operators in a university laboratory environment. It must be easy to use and be insensitive to frequent change of process between batches. The processes include broad range of etching capability: low to high etch rate, wafer dicing, high uniformity, high open area, high aspect ratio, and nanometre scale. The system is intended for etching of silicon as well as other materials compatible with silicon etching, with both photoresist resins and hard masks for patterning.
Tájékoztató gépi fordítás. A hivatalos összefoglaló az irányadó.
Hivatalos összefoglaló · English
Myfab Uppsala aims at purchasing a Deep Reaction Ion Etcher (DRIE). The purpose of the tool is to transfer patterns defined by e.g., photo- and electron beam lithography covering the pattens size range from all substrate range down to a few nanometres. The system will be used by many operators in a university laboratory environment. It must be easy to use and be insensitive to frequent change of process between batches. The processes include broad range of etching capability: low to high etch rate, wafer dicing, high uniformity, high open area, high aspect ratio, and nanometre scale. The system is intended for etching of silicon as well as other materials compatible with silicon etching, with both photoresist resins and hard masks for patterning.
A hirdetmény előzményei
A közbeszerzési eljárás idővonala
Kövesse a közbeszerzési eljáráshoz kapcsolódó főbb szakaszokat és frissítéseket.
-
Helyesbítő hirdetmény
· TED 700865-2026
Módosított szakaszok: 1Hirdetmény megtekintése a Tenderiván
Hivatalos hirdetmény megnyitása ↗
Az adatokat a könnyebb olvashatóság érdekében átrendezzük. Mindig a hivatalos hirdetmény és a közbeszerzési dokumentumok az irányadók.
Forrás és megbízhatóság
TED · 693624-2026. Ellenőrizve: 2026. okt. 8. 11:05.
Az adatokat a könnyebb olvashatóság érdekében átrendezzük. Mindig a hivatalos hirdetmény és a közbeszerzési dokumentumok az irányadók.