Oficjalne podsumowanie · English
Co jest przedmiotem zamówienia?
Myfab Uppsala aims at purchasing a Deep Reaction Ion Etcher (DRIE). The purpose of the tool is to transfer patterns defined by e.g., photo- and electron beam lithography covering the pattens size range from all substrate range down to a few nanometres. The system will be used by many operators in a university laboratory environment. It must be easy to use and be insensitive to frequent change of process between batches. The processes include broad range of etching capability: low to high etch rate, wafer dicing, high uniformity, high open area, high aspect ratio, and nanometre scale. The system is intended for etching of silicon as well as other materials compatible with silicon etching, with both photoresist resins and hard masks for patterning.
Pomocnicze tłumaczenie maszynowe. Oficjalne podsumowanie pozostaje rozstrzygające.
Oficjalne podsumowanie · English
Myfab Uppsala aims at purchasing a Deep Reaction Ion Etcher (DRIE). The purpose of the tool is to transfer patterns defined by e.g., photo- and electron beam lithography covering the pattens size range from all substrate range down to a few nanometres. The system will be used by many operators in a university laboratory environment. It must be easy to use and be insensitive to frequent change of process between batches. The processes include broad range of etching capability: low to high etch rate, wafer dicing, high uniformity, high open area, high aspect ratio, and nanometre scale. The system is intended for etching of silicon as well as other materials compatible with silicon etching, with both photoresist resins and hard masks for patterning.
Historia ogłoszeń
Oś czasu postępowania o udzielenie zamówienia
Śledź główne etapy i aktualizacje powiązane z tym postępowaniem o udzielenie zamówienia.
-
Ogłoszenie o procedurze konkurencyjnej Przeglądane ogłoszenie
· TED 693624-2026
Otwórz oficjalne ogłoszenie ↗
Dane uporządkowano dla łatwiejszego czytania. Zawsze rozstrzygają oficjalne ogłoszenie i dokumenty zamówienia.
Źródło i wiarygodność
TED · 693624-2026. Sprawdzono 8 paź 2026, 11:05.
Dane uporządkowano dla łatwiejszego czytania. Zawsze rozstrzygają oficjalne ogłoszenie i dokumenty zamówienia.