Επίσημη περίληψη · English
Τι αποτελεί αντικείμενο της σύμβασης;
Myfab Uppsala aims at purchasing a Deep Reaction Ion Etcher (DRIE). The purpose of the tool is to transfer patterns defined by e.g., photo- and electron beam lithography covering the pattens size range from all substrate range down to a few nanometres. The system will be used by many operators in a university laboratory environment. It must be easy to use and be insensitive to frequent change of process between batches. The processes include broad range of etching capability: low to high etch rate, wafer dicing, high uniformity, high open area, high aspect ratio, and nanometre scale. The system is intended for etching of silicon as well as other materials compatible with silicon etching, with both photoresist resins and hard masks for patterning.
Ενδεικτική αυτόματη μετάφραση. Η επίσημη περίληψη παραμένει η έγκυρη αναφορά.
Επίσημη περίληψη · English
Myfab Uppsala aims at purchasing a Deep Reaction Ion Etcher (DRIE). The purpose of the tool is to transfer patterns defined by e.g., photo- and electron beam lithography covering the pattens size range from all substrate range down to a few nanometres. The system will be used by many operators in a university laboratory environment. It must be easy to use and be insensitive to frequent change of process between batches. The processes include broad range of etching capability: low to high etch rate, wafer dicing, high uniformity, high open area, high aspect ratio, and nanometre scale. The system is intended for etching of silicon as well as other materials compatible with silicon etching, with both photoresist resins and hard masks for patterning.
Ιστορικό γνωστοποιήσεων
Χρονολόγιο διαδικασίας σύναψης σύμβασης
Παρακολουθήστε τα κύρια στάδια και τις ενημερώσεις που συνδέονται με αυτή τη διαδικασία σύναψης σύμβασης.
-
Γνωστοποίηση διόρθωσης
· TED 700865-2026
Τροποποιημένες ενότητες: 1Προβολή προκήρυξης στο Tenderiva
Άνοιγμα επίσημης προκήρυξης ↗
Τα δεδομένα έχουν αναδιαρθρωθεί για ευκολότερη ανάγνωση. Η επίσημη προκήρυξη και τα έγγραφα της σύμβασης υπερισχύουν πάντα.
Πηγή και αξιοπιστία
TED · 693624-2026. Ελέγχθηκε στις 8 Οκτ 2026, 11:05 π.μ..
Τα δεδομένα έχουν αναδιαρθρωθεί για ευκολότερη ανάγνωση. Η επίσημη προκήρυξη και τα έγγραφα της σύμβασης υπερισχύουν πάντα.