Uzatvorené TED · Zdroj · Jazyk: English

Fínsko · Laboratórne, optické a presné zariadenia

Oficiálny názov · English

Optical film stress measurement tool

VTT Technical Research Centre of Finland Ltd · Fínsko

Zobraziť oznámenia pod týmto názvom
Oficiálne zhrnutie · English

THE OBJECT OF THE TENDER PROCESS The object of the procurement is a 200 mm automated film stress and wafer bow analysis system using a non-contact laser scanning technique for the VTT Micronova cleanroom. The procurement includes a room temperature automated thin-film stress measurement system, cassette load lock, robot to handle the wafers, programmable automatic wafer scanning system, and analysis software. The tool should be designed to be used inside…

Čo je predmetom obstarávania?
Lehota 15. 6. 2026 09:00 UTC
Predpokladaná hodnotaNeuvedené
Zverejnené19. 5. 2026
Otvoriť oficiálne oznámenie ↗

Oficiálne zhrnutie · English

Čo je predmetom obstarávania?

THE OBJECT OF THE TENDER PROCESS The object of the procurement is a 200 mm automated film stress and wafer bow analysis system using a non-contact laser scanning technique for the VTT Micronova cleanroom. The procurement includes a room temperature automated thin-film stress measurement system, cassette load lock, robot to handle the wafers, programmable automatic wafer scanning system, and analysis software. The tool should be designed to be used inside the clean room. The supplier will take to consideration the environmental conditions of the tool installation location and will work together with VTT to reduce the external impact on facility. The automated thin-film stress analysis system is for non-patterned, non-texture 200 mm wafer stress measurement. The technical specification of th

História oznámení

Časová os verejného obstarávania

Sledujte hlavné etapy a aktualizácie súvisiace s týmto postupom verejného obstarávania.

Zatiaľ sa nenašlo žiadne ďalšie súvisiace oznámenie.

  1. Oznámenie o verejnom obstarávaní Aktuálne oznámenie

    · TED 342282-2026

    Otvoriť oficiálne oznámenie ↗

Údaje sú upravené na ľahšie čítanie. Oficiálne oznámenie a súťažné podklady majú vždy prednosť.

Zdroj a spoľahlivosť

TED · 342282-2026. Overené 22. 8. 2026, 9:05.

Údaje sú upravené na ľahšie čítanie. Oficiálne oznámenie a súťažné podklady majú vždy prednosť.

Nahlásiť chybu e-mailom