Затворена TED · Източник · Език: English

Финландия · Лабораторно, оптично и прецизно оборудване

Официално заглавие · English

Optical film stress measurement tool

VTT Technical Research Centre of Finland Ltd · Финландия

Вижте обявленията под това име
Официално резюме · English

THE OBJECT OF THE TENDER PROCESS The object of the procurement is a 200 mm automated film stress and wafer bow analysis system using a non-contact laser scanning technique for the VTT Micronova cleanroom. The procurement includes a room temperature automated thin-film stress measurement system, cassette load lock, robot to handle the wafers, programmable automatic wafer scanning system, and analysis software. The tool should be designed to be used inside…

Какво се възлага?
Краен срок 15.06.2026 г. 09:00 UTC
Прогнозна стойностНе е обявено
Публикувано19.05.2026 г.
Отворете официалното обявление ↗

Официално резюме · English

Какво се възлага?

THE OBJECT OF THE TENDER PROCESS The object of the procurement is a 200 mm automated film stress and wafer bow analysis system using a non-contact laser scanning technique for the VTT Micronova cleanroom. The procurement includes a room temperature automated thin-film stress measurement system, cassette load lock, robot to handle the wafers, programmable automatic wafer scanning system, and analysis software. The tool should be designed to be used inside the clean room. The supplier will take to consideration the environmental conditions of the tool installation location and will work together with VTT to reduce the external impact on facility. The automated thin-film stress analysis system is for non-patterned, non-texture 200 mm wafer stress measurement. The technical specification of th

История на обявлението

Хронология на процедурата за възлагане

Проследете основните етапи и актуализации, свързани с тази процедура за възлагане.

Все още не е открито друго свързано обявление.

  1. Обявление за състезателна процедура Текущо обявление

    · TED 342282-2026

    Отворете официалното обявление ↗

Данните са преструктурирани за по-лесно четене. Официалното обявление и документите винаги имат предимство.

Източник и надеждност

TED · 342282-2026. Проверено на 22.08.2026 г., 9:05 ч..

Данните са преструктурирани за по-лесно четене. Официалното обявление и документите винаги имат предимство.

Съобщете за грешка по имейл