Suljettu TED · Lähde · Kieli: English

Suomi · Laboratorio-, optiset ja tarkkuuslaitteet

Virallinen otsikko · English

Optical film stress measurement tool

VTT Technical Research Centre of Finland Ltd · Suomi

Näytä tällä nimellä julkaistut ilmoitukset
Virallinen yhteenveto · English

THE OBJECT OF THE TENDER PROCESS The object of the procurement is a 200 mm automated film stress and wafer bow analysis system using a non-contact laser scanning technique for the VTT Micronova cleanroom. The procurement includes a room temperature automated thin-film stress measurement system, cassette load lock, robot to handle the wafers, programmable automatic wafer scanning system, and analysis software. The tool should be designed to be used inside…

Mitä hankitaan?
Määräaika 15.6.2026 09:00 UTC
Arvioitu arvoEi ilmoitettu
Julkaistu19.5.2026
Avaa virallinen ilmoitus ↗

Virallinen yhteenveto · English

Mitä hankitaan?

THE OBJECT OF THE TENDER PROCESS The object of the procurement is a 200 mm automated film stress and wafer bow analysis system using a non-contact laser scanning technique for the VTT Micronova cleanroom. The procurement includes a room temperature automated thin-film stress measurement system, cassette load lock, robot to handle the wafers, programmable automatic wafer scanning system, and analysis software. The tool should be designed to be used inside the clean room. The supplier will take to consideration the environmental conditions of the tool installation location and will work together with VTT to reduce the external impact on facility. The automated thin-film stress analysis system is for non-patterned, non-texture 200 mm wafer stress measurement. The technical specification of th

Ilmoitushistoria

Hankintamenettelyn aikajana

Seuraa tähän hankintamenettelyyn liittyviä päävaiheita ja päivityksiä.

Muita tähän liittyviä ilmoituksia ei ole vielä tunnistettu.

  1. Hankintailmoitus Nykyinen ilmoitus

    · TED 342282-2026

    Avaa virallinen ilmoitus ↗

Tiedot on jäsennetty helpommin luettaviksi. Virallinen ilmoitus ja hankinta-asiakirjat ovat aina ratkaisevia.

Lähde ja luotettavuus

TED · 342282-2026. Tarkistettu 22.8.2026 klo 9.05.

Tiedot on jäsennetty helpommin luettaviksi. Virallinen ilmoitus ja hankinta-asiakirjat ovat aina ratkaisevia.

Ilmoita virheestä sähköpostitse