Geschlossen TED · Quelle · Sprache: English

Finnland · Labor-, optische und Präzisionsgeräte

Amtlicher Titel · English

Optical film stress measurement tool

VTT Technical Research Centre of Finland Ltd · Finnland

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Amtliche Zusammenfassung · English

THE OBJECT OF THE TENDER PROCESS The object of the procurement is a 200 mm automated film stress and wafer bow analysis system using a non-contact laser scanning technique for the VTT Micronova cleanroom. The procurement includes a room temperature automated thin-film stress measurement system, cassette load lock, robot to handle the wafers, programmable automatic wafer scanning system, and analysis software. The tool should be designed to be used inside…

Was wird beschafft?
Frist 15.06.2026 09:00 UTC
Geschätzter WertNicht angegeben
Veröffentlicht19.05.2026
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Amtliche Zusammenfassung · English

Was wird beschafft?

THE OBJECT OF THE TENDER PROCESS The object of the procurement is a 200 mm automated film stress and wafer bow analysis system using a non-contact laser scanning technique for the VTT Micronova cleanroom. The procurement includes a room temperature automated thin-film stress measurement system, cassette load lock, robot to handle the wafers, programmable automatic wafer scanning system, and analysis software. The tool should be designed to be used inside the clean room. The supplier will take to consideration the environmental conditions of the tool installation location and will work together with VTT to reduce the external impact on facility. The automated thin-film stress analysis system is for non-patterned, non-texture 200 mm wafer stress measurement. The technical specification of th

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  1. Auftragsbekanntmachung Aktuelle Bekanntmachung

    · TED 342282-2026

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Die Daten werden für eine leichtere Lesbarkeit neu strukturiert. Maßgeblich sind stets die amtliche Bekanntmachung und die Vergabeunterlagen.

Quelle und Verlässlichkeit

TED · 342282-2026. Geprüft am 22.08.2026, 09:05.

Die Daten werden für eine leichtere Lesbarkeit neu strukturiert. Maßgeblich sind stets die amtliche Bekanntmachung und die Vergabeunterlagen.

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