Uzavřeno TED · Zdroj · Jazyk: English

Finsko · Laboratorní, optická a přesná zařízení

Oficiální název · English

Optical film stress measurement tool

VTT Technical Research Centre of Finland Ltd · Finsko

Zobrazit oznámení pod tímto názvem
Oficiální shrnutí · English

THE OBJECT OF THE TENDER PROCESS The object of the procurement is a 200 mm automated film stress and wafer bow analysis system using a non-contact laser scanning technique for the VTT Micronova cleanroom. The procurement includes a room temperature automated thin-film stress measurement system, cassette load lock, robot to handle the wafers, programmable automatic wafer scanning system, and analysis software. The tool should be designed to be used inside…

Co je předmětem zakázky?
Lhůta 15. 6. 2026 09:00 UTC
Předpokládaná hodnotaNeuvedeno
Zveřejněno19. 5. 2026
Otevřít oficiální oznámení ↗

Oficiální shrnutí · English

Co je předmětem zakázky?

THE OBJECT OF THE TENDER PROCESS The object of the procurement is a 200 mm automated film stress and wafer bow analysis system using a non-contact laser scanning technique for the VTT Micronova cleanroom. The procurement includes a room temperature automated thin-film stress measurement system, cassette load lock, robot to handle the wafers, programmable automatic wafer scanning system, and analysis software. The tool should be designed to be used inside the clean room. The supplier will take to consideration the environmental conditions of the tool installation location and will work together with VTT to reduce the external impact on facility. The automated thin-film stress analysis system is for non-patterned, non-texture 200 mm wafer stress measurement. The technical specification of th

Historie oznámení

Časová osa zadávacího řízení

Sledujte hlavní fáze a aktualizace spojené s tímto zadávacím řízením.

Dosud nebylo nalezeno žádné další související oznámení.

  1. Oznámení o zahájení zadávacího řízení Aktuální oznámení

    · TED 342282-2026

    Otevřít oficiální oznámení ↗

Data jsou upravena pro snazší čtení. Oficiální oznámení a zadávací dokumentace mají vždy přednost.

Zdroj a spolehlivost

TED · 342282-2026. Ověřeno 22. 8. 2026 9:05.

Data jsou upravena pro snazší čtení. Oficiální oznámení a zadávací dokumentace mají vždy přednost.

Nahlásit chybu e-mailem