Clos TED · Source · Langue: English

Finlande · Équipements de laboratoire, d’optique et de précision

Titre officiel · English

Optical film stress measurement tool

VTT Technical Research Centre of Finland Ltd · Finlande

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Résumé officiel · English

THE OBJECT OF THE TENDER PROCESS The object of the procurement is a 200 mm automated film stress and wafer bow analysis system using a non-contact laser scanning technique for the VTT Micronova cleanroom. The procurement includes a room temperature automated thin-film stress measurement system, cassette load lock, robot to handle the wafers, programmable automatic wafer scanning system, and analysis software. The tool should be designed to be used inside…

Quel est l’objet du marché ?
Échéance 15 juin 2026 09:00 UTC
Valeur estiméeNon communiqué
Publié19 mai 2026
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Résumé officiel · English

Quel est l’objet du marché ?

THE OBJECT OF THE TENDER PROCESS The object of the procurement is a 200 mm automated film stress and wafer bow analysis system using a non-contact laser scanning technique for the VTT Micronova cleanroom. The procurement includes a room temperature automated thin-film stress measurement system, cassette load lock, robot to handle the wafers, programmable automatic wafer scanning system, and analysis software. The tool should be designed to be used inside the clean room. The supplier will take to consideration the environmental conditions of the tool installation location and will work together with VTT to reduce the external impact on facility. The automated thin-film stress analysis system is for non-patterned, non-texture 200 mm wafer stress measurement. The technical specification of th

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  1. Avis de mise en concurrence Avis actuel

    · TED 342282-2026

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Source et fiabilité

TED · 342282-2026. Vérifié le 22 août 2026 à 09:05.

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