Awarded TED · Source · Language: Français

France · Electrical machinery, apparatus, equipment and consumables

Official title · Français

Equipement de dépôt LPCVD

COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES · France

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Official summary · Français

What is being procured?

Le CEA Grenoble pour ses activités de recherche visant à développer les technologies SOI d'un diamètre de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un système LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) compact basé sur un seul tube vertical. Ce système devra traiter automatiquement des plaquettes de 300 mm destiné au dépôt de silicium non dopé et dopé (avec du bore ou du phosphore).

Deadline Not announced
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PublishedMay 22, 2026
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    · TED 352159-2026

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TED · 352159-2026. Checked on Aug 22, 2026, 11:05 AM.

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