Vergeben TED · Quelle · Sprache: Français

Frankreich · Elektrische Maschinen, Geräte und Verbrauchsmaterial

Amtlicher Titel · Français

Equipement de dépôt LPCVD

COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES · Frankreich

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Amtliche Zusammenfassung · Français

Was wird beschafft?

Le CEA Grenoble pour ses activités de recherche visant à développer les technologies SOI d'un diamètre de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un système LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) compact basé sur un seul tube vertical. Ce système devra traiter automatiquement des plaquettes de 300 mm destiné au dépôt de silicium non dopé et dopé (avec du bore ou du phosphore).

Frist Nicht angegeben
Geschätzter WertNicht angegeben
Veröffentlicht22.05.2026
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Bekanntmachungsverlauf

Zeitlicher Ablauf des Vergabeverfahrens

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  1. Bekanntmachung vergebener Aufträge Aktuelle Bekanntmachung

    · TED 352159-2026

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Die Daten werden für eine leichtere Lesbarkeit neu strukturiert. Maßgeblich sind stets die amtliche Bekanntmachung und die Vergabeunterlagen.

Quelle und Verlässlichkeit

TED · 352159-2026. Geprüft am 22.08.2026, 11:05.

Die Daten werden für eine leichtere Lesbarkeit neu strukturiert. Maßgeblich sind stets die amtliche Bekanntmachung und die Vergabeunterlagen.

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