Attribué TED · Source

France · Machines, appareils et consommables électriques

Titre officiel · Français

Equipement de dépôt LPCVD

COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES · France

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Résumé officiel

Quel est l’objet du marché ?

Le CEA Grenoble pour ses activités de recherche visant à développer les technologies SOI d'un diamètre de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un système LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) compact basé sur un seul tube vertical. Ce système devra traiter automatiquement des plaquettes de 300 mm destiné au dépôt de silicium non dopé et dopé (avec du bore ou du phosphore).

Échéance Non communiqué
Valeur estiméeNon communiqué
Publié22 mai 2026
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Historique de l’avis

Chronologie de la procédure

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  1. Avis d’attribution Avis actuel

    · TED 352159-2026

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Source et fiabilité

TED · 352159-2026. Vérifié le 22 août 2026 à 11:05.

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