Adjudicado TED · Fonte · Idioma: Français

França · Máquinas, aparelhos e consumíveis elétricos

Título oficial · Français

Equipement de dépôt LPCVD

COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES · França

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Resumo oficial · Français

O que está a ser adquirido?

Le CEA Grenoble pour ses activités de recherche visant à développer les technologies SOI d'un diamètre de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un système LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) compact basé sur un seul tube vertical. Ce système devra traiter automatiquement des plaquettes de 300 mm destiné au dépôt de silicium non dopé et dopé (avec du bore ou du phosphore).

Prazo Não indicado
Valor estimadoNão indicado
Publicado22 de mai de 2026
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Fonte e fiabilidade

TED · 352159-2026. Verificado em 22 de ago de 2026 11:05.

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