Aggiudicato TED · Fonte · Lingua: Français

Francia · Macchine, apparecchiature e materiali elettrici

Titolo ufficiale · Français

Equipement de dépôt LPCVD

COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES · Francia

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Sintesi ufficiale · Français

Che cosa viene acquistato?

Le CEA Grenoble pour ses activités de recherche visant à développer les technologies SOI d'un diamètre de 10 nm et au-delà, le CEA-LETI souhaite acquérir un système LPCVD (Low Pressure Chemical Vapor Deposition) compact basé sur un seul tube vertical. Ce système devra traiter automatiquement des plaquettes de 300 mm destiné au dépôt de silicium non dopé et dopé (avec du bore ou du phosphore).

Scadenza Non indicato
Valore stimatoNon indicato
Pubblicato22 mag 2026
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  1. Avviso di aggiudicazione Avviso corrente

    · TED 352159-2026

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Fonte e affidabilità

TED · 352159-2026. Verificato il 22 ago 2026, 11:05.

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