Zadané TED · Zdroj · Jazyk: Nederlands

Belgicko · Laboratórne, optické a presné zariadenia

Oficiálny názov · Nederlands

EUV TRACK (HNA/LNA)

Imec EU Pilot line NV · Belgicko

Zobraziť oznámenia pod týmto názvom
Oficiálne zhrnutie · Nederlands

The high NA - EUV track will support a High NA EUV scanner it gets linked to. The track will prepare the wafers before the exposure, this is pre-treatment of the wafers before coating, the coating of underlayer and photo resist followed by a post application bake. After exposure the track will execute the post exposure bake and development of the photo sensitive material to get the pattern fixed. The track modules need to be precisely controlled to…

Čo je predmetom obstarávania?
Lehota Neuvedené
Predpokladaná hodnotaNeuvedené
Zverejnené2. 10. 2026
Otvoriť oficiálne oznámenie ↗

Oficiálne zhrnutie · Nederlands

Čo je predmetom obstarávania?

The high NA - EUV track will support a High NA EUV scanner it gets linked to. The track will prepare the wafers before the exposure, this is pre-treatment of the wafers before coating, the coating of underlayer and photo resist followed by a post application bake. After exposure the track will execute the post exposure bake and development of the photo sensitive material to get the pattern fixed. The track modules need to be precisely controlled to achieve superior results in uniformity within the wafer and from wafer to wafer. It also needs to enable the processing of a wide variety of materials to support the further scaling and continuous evolving semiconductor devices. The low NA - EUV track will support a Low NA EUV scanner it gets linked to.…

História oznámení

Časová os verejného obstarávania

Sledujte hlavné etapy a aktualizácie súvisiace s týmto postupom verejného obstarávania.

Zatiaľ sa nenašlo žiadne ďalšie súvisiace oznámenie.

  1. Oznámenie o výsledku Prezerané oznámenie

    · TED 680011-2026

    Otvoriť oficiálne oznámenie ↗

Údaje sú upravené na ľahšie čítanie. Oficiálne oznámenie a súťažné podklady majú vždy prednosť.

Zdroj a spoľahlivosť

TED · 680011-2026. Overené 2. 10. 2026, 11:05.

Údaje sú upravené na ľahšie čítanie. Oficiálne oznámenie a súťažné podklady majú vždy prednosť.

Nahlásiť chybu e-mailom