Zadáno TED · Zdroj · Jazyk: Nederlands

Belgie · Laboratorní, optická a přesná zařízení

Oficiální název · Nederlands

EUV TRACK (HNA/LNA)

Imec EU Pilot line NV · Belgie

Zobrazit oznámení pod tímto názvem
Oficiální shrnutí · Nederlands

The high NA - EUV track will support a High NA EUV scanner it gets linked to. The track will prepare the wafers before the exposure, this is pre-treatment of the wafers before coating, the coating of underlayer and photo resist followed by a post application bake. After exposure the track will execute the post exposure bake and development of the photo sensitive material to get the pattern fixed. The track modules need to be precisely controlled to…

Co je předmětem zakázky?
Lhůta Neuvedeno
Předpokládaná hodnotaNeuvedeno
Zveřejněno2. 10. 2026
Otevřít oficiální oznámení ↗

Oficiální shrnutí · Nederlands

Co je předmětem zakázky?

The high NA - EUV track will support a High NA EUV scanner it gets linked to. The track will prepare the wafers before the exposure, this is pre-treatment of the wafers before coating, the coating of underlayer and photo resist followed by a post application bake. After exposure the track will execute the post exposure bake and development of the photo sensitive material to get the pattern fixed. The track modules need to be precisely controlled to achieve superior results in uniformity within the wafer and from wafer to wafer. It also needs to enable the processing of a wide variety of materials to support the further scaling and continuous evolving semiconductor devices. The low NA - EUV track will support a Low NA EUV scanner it gets linked to.…

Historie oznámení

Časová osa zadávacího řízení

Sledujte hlavní fáze a aktualizace spojené s tímto zadávacím řízením.

Dosud nebylo nalezeno žádné další související oznámení.

  1. Oznámení o výsledku Prohlížené oznámení

    · TED 680011-2026

    Otevřít oficiální oznámení ↗

Data jsou upravena pro snazší čtení. Oficiální oznámení a zadávací dokumentace mají vždy přednost.

Zdroj a spolehlivost

TED · 680011-2026. Ověřeno 2. 10. 2026 11:05.

Data jsou upravena pro snazší čtení. Oficiální oznámení a zadávací dokumentace mají vždy přednost.

Nahlásit chybu e-mailem