Piešķirts TED · Avots · Valoda: Nederlands

Beļģija · Laboratorijas, optiskais un precīzijas aprīkojums

Oficiālais nosaukums · Nederlands

EUV TRACK (HNA/LNA)

Imec EU Pilot line NV · Beļģija

Skatīt paziņojumus ar šo nosaukumu
Oficiālais kopsavilkums · Nederlands

The high NA - EUV track will support a High NA EUV scanner it gets linked to. The track will prepare the wafers before the exposure, this is pre-treatment of the wafers before coating, the coating of underlayer and photo resist followed by a post application bake. After exposure the track will execute the post exposure bake and development of the photo sensitive material to get the pattern fixed. The track modules need to be precisely controlled to…

Kas tiek iepirkts?
Termiņš Nav paziņots
Paredzamā vērtībaNav paziņots
Publicēts2026. gada 2. okt.
Atvērt oficiālo paziņojumu ↗

Oficiālais kopsavilkums · Nederlands

Kas tiek iepirkts?

The high NA - EUV track will support a High NA EUV scanner it gets linked to. The track will prepare the wafers before the exposure, this is pre-treatment of the wafers before coating, the coating of underlayer and photo resist followed by a post application bake. After exposure the track will execute the post exposure bake and development of the photo sensitive material to get the pattern fixed. The track modules need to be precisely controlled to achieve superior results in uniformity within the wafer and from wafer to wafer. It also needs to enable the processing of a wide variety of materials to support the further scaling and continuous evolving semiconductor devices. The low NA - EUV track will support a Low NA EUV scanner it gets linked to.…

Paziņojuma vēsture

Iepirkuma procedūras laika skala

Sekojiet galvenajiem posmiem un atjauninājumiem, kas saistīti ar šo iepirkuma procedūru.

Cits saistīts paziņojums vēl nav identificēts.

  1. Rezultātu paziņojums Skatītais paziņojums

    · TED 680011-2026

    Atvērt oficiālo paziņojumu ↗

Dati ir pārstrukturēti vieglākai lasīšanai. Oficiālais paziņojums un iepirkuma dokumenti vienmēr ir noteicošie.

Avots un uzticamība

TED · 680011-2026. Pārbaudīts 2026. gada 2. okt. 11:05.

Dati ir pārstrukturēti vieglākai lasīšanai. Oficiālais paziņojums un iepirkuma dokumenti vienmēr ir noteicošie.

Ziņot par kļūdu e-pastā