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Schweden · Industriemaschinen

Amtlicher Titel · English

Deep Reaction Ion Etcher (DRIE)

Uppsala universitet · Schweden

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Amtliche Zusammenfassung · English

Myfab Uppsala aims at purchasing a Deep Reaction Ion Etcher (DRIE). The purpose of the tool is to transfer patterns defined by e.g., photo- and electron beam lithography covering the pattens size range from all substrate range down to a few nanometres. The system will be used by many operators in a university laboratory environment. It must be easy to use and be insensitive to frequent change of process between batches. The processes include broad range…

Was wird beschafft?
Frist 10.11.2026 00:00 UTC+01:00
Geschätzter Wert1 SEK
Veröffentlicht12.10.2026
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Amtliche Zusammenfassung · English

Was wird beschafft?

Myfab Uppsala aims at purchasing a Deep Reaction Ion Etcher (DRIE). The purpose of the tool is to transfer patterns defined by e.g., photo- and electron beam lithography covering the pattens size range from all substrate range down to a few nanometres. The system will be used by many operators in a university laboratory environment. It must be easy to use and be insensitive to frequent change of process between batches. The processes include broad range of etching capability: low to high etch rate, wafer dicing, high uniformity, high open area, high aspect ratio, and nanometre scale. The system is intended for etching of silicon as well as other materials compatible with silicon etching, with both photoresist resins and hard masks for patterning.

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Prüfpunkte für die offiziellen Unterlagen. Dieser Leitfaden ist keine automatische Dokumentenanalyse.

  1. Vollständige Unterlagen und Änderungen lesen
  2. Teilnahmebedingungen und verlangte Nachweise prüfen
  3. Prüfen, ob eine Besichtigung oder Besprechung erforderlich ist
  4. Zuschlagskriterien und Gewichtung prüfen
  5. Verfügbare Mittel, Budget und Zeitplan prüfen
  6. Einreichungsverfahren und Frist bestätigen

TED · 700865-2026. Geprüft am 12.10.2026, 11:05.
https://ted.europa.eu/en/notice/-/detail/700865-2026

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  1. Auftragsbekanntmachung

    · TED 693624-2026

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  2. Berichtigungsbekanntmachung Angezeigte Bekanntmachung

    · TED 700865-2026

    Geänderte Abschnitte: 1 Amtliche Bekanntmachung öffnen ↗

Die Daten werden für eine leichtere Lesbarkeit neu strukturiert. Maßgeblich sind stets die amtliche Bekanntmachung und die Vergabeunterlagen.

Quelle und Verlässlichkeit

TED · 700865-2026. Geprüft am 12.10.2026, 11:05.

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