Officiell sammanfattning · English
Vad upphandlas?
Myfab Uppsala aims at purchasing a Deep Reaction Ion Etcher (DRIE). The purpose of the tool is to transfer patterns defined by e.g., photo- and electron beam lithography covering the pattens size range from all substrate range down to a few nanometres. The system will be used by many operators in a university laboratory environment. It must be easy to use and be insensitive to frequent change of process between batches. The processes include broad range of etching capability: low to high etch rate, wafer dicing, high uniformity, high open area, high aspect ratio, and nanometre scale. The system is intended for etching of silicon as well as other materials compatible with silicon etching, with both photoresist resins and hard masks for patterning.
Vägledande maskinöversättning. Den officiella sammanfattningen gäller.
Officiell sammanfattning · English
Myfab Uppsala aims at purchasing a Deep Reaction Ion Etcher (DRIE). The purpose of the tool is to transfer patterns defined by e.g., photo- and electron beam lithography covering the pattens size range from all substrate range down to a few nanometres. The system will be used by many operators in a university laboratory environment. It must be easy to use and be insensitive to frequent change of process between batches. The processes include broad range of etching capability: low to high etch rate, wafer dicing, high uniformity, high open area, high aspect ratio, and nanometre scale. The system is intended for etching of silicon as well as other materials compatible with silicon etching, with both photoresist resins and hard masks for patterning.
Gratis
Få nästa upphandlingar inom denna bransch
Få ett veckovis mejl med nya meddelanden som matchar dina kriterier. Kontrollera eller justera kriterierna innan du aktiverar din kostnadsfria bevakning.
Förberedelselista
Förbered mitt anbud
Kontroller att göra i de officiella handlingarna. Guiden är ingen automatisk dokumentanalys.
- Läs alla handlingar och ändringar
- Kontrollera deltagarvillkor och begärda dokument
- Kontrollera om platsbesök eller möte krävs
- Granska tilldelningskriterier och viktning
- Kontrollera tillgängliga resurser, budget och tidsplan
- Bekräfta inlämningsförfarandet och tidsfristen
TED · 700865-2026. Kontrollerad 12 okt. 2026 11:05.
https://ted.europa.eu/en/notice/-/detail/700865-2026
Analysera denna annons med AI
AI-analyser är tillgängliga med Pro eller Team.
Analyser av annonser och PDF-filer använder samma kvot.
Meddelandehistorik
Tidslinje för upphandlingsförfarandet
Följ de viktigaste stegen och uppdateringarna som är kopplade till det här upphandlingsförfarandet.
Uppgifterna har strukturerats om för att bli lättare att läsa. Det officiella meddelandet och upphandlingsdokumenten gäller alltid.
Källa och tillförlitlighet
TED · 700865-2026. Kontrollerad 12 okt. 2026 11:05.
Uppgifterna har strukturerats om för att bli lättare att läsa. Det officiella meddelandet och upphandlingsdokumenten gäller alltid.