Vergeben TED · Quelle · Sprache: Nederlands

Belgien · Labor-, optische und Präzisionsgeräte

Amtlicher Titel · Nederlands

toestel voor de deponering van dikke oxide-diëlectrica

Imec EU Pilot line NV · Belgien

Bekanntmachungen unter diesem Namen ansehen
Amtliche Zusammenfassung · Nederlands

de aankoop van een toestel voor de deponering van dikke oxide-diëlectrica Dit is een 300 mm verwerkingsplatform met drie kamers. Het bevat: • Een module voor het aanbrengen van micron-dikke (>20 µm) diëlektrische lagen, bedoeld voor gap-fill toepassingen. • Een module voor diëlektrische depositie aan de achterzijde van de wafer, gebruikt voor spanningscompensatie. • Een Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PeCVD) module voor het aanbrengen van…

Was wird beschafft?
Frist Nicht angegeben
Geschätzter WertNicht angegeben
Veröffentlicht26.05.2026
Amtliche Bekanntmachung öffnen ↗

Amtliche Zusammenfassung · Nederlands

Was wird beschafft?

de aankoop van een toestel voor de deponering van dikke oxide-diëlectrica Dit is een 300 mm verwerkingsplatform met drie kamers. Het bevat: • Een module voor het aanbrengen van micron-dikke (>20 µm) diëlektrische lagen, bedoeld voor gap-fill toepassingen. • Een module voor diëlektrische depositie aan de achterzijde van de wafer, gebruikt voor spanningscompensatie. • Een Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PeCVD) module voor het aanbrengen van standaard diëlektrische materialen.

Bekanntmachungsverlauf

Zeitlicher Ablauf des Vergabeverfahrens

Verfolgen Sie die wichtigsten Phasen und Aktualisierungen dieses Vergabeverfahrens.

Bisher wurde keine weitere zugehörige Bekanntmachung ermittelt.

  1. Bekanntmachung vergebener Aufträge Aktuelle Bekanntmachung

    · TED 355476-2026

    Amtliche Bekanntmachung öffnen ↗

Die Daten werden für eine leichtere Lesbarkeit neu strukturiert. Maßgeblich sind stets die amtliche Bekanntmachung und die Vergabeunterlagen.

Quelle und Verlässlichkeit

TED · 355476-2026. Geprüft am 22.08.2026, 13:05.

Die Daten werden für eine leichtere Lesbarkeit neu strukturiert. Maßgeblich sind stets die amtliche Bekanntmachung und die Vergabeunterlagen.

Fehler per E-Mail melden