Gegund TED · Bron

België · Laboratorium-, optische en precisieapparatuur

Officiële titel · Nederlands

toestel voor de deponering van dikke oxide-diëlectrica

Imec EU Pilot line NV · België

Bekijk aankondigingen onder deze naam
Officiële samenvatting

de aankoop van een toestel voor de deponering van dikke oxide-diëlectrica Dit is een 300 mm verwerkingsplatform met drie kamers. Het bevat: • Een module voor het aanbrengen van micron-dikke (>20 µm) diëlektrische lagen, bedoeld voor gap-fill toepassingen. • Een module voor diëlektrische depositie aan de achterzijde van de wafer, gebruikt voor spanningscompensatie. • Een Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PeCVD) module voor het aanbrengen van…

Wat wordt ingekocht?
Termijn Niet vermeld
Geraamde waardeNiet vermeld
Gepubliceerd26 mei 2026
Officiële aankondiging openen ↗

Officiële samenvatting

Wat wordt ingekocht?

de aankoop van een toestel voor de deponering van dikke oxide-diëlectrica Dit is een 300 mm verwerkingsplatform met drie kamers. Het bevat: • Een module voor het aanbrengen van micron-dikke (>20 µm) diëlektrische lagen, bedoeld voor gap-fill toepassingen. • Een module voor diëlektrische depositie aan de achterzijde van de wafer, gebruikt voor spanningscompensatie. • Een Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition (PeCVD) module voor het aanbrengen van standaard diëlektrische materialen.

Historie van de aankondiging

Tijdlijn van de aanbestedingsprocedure

Volg de belangrijkste fasen en updates van deze aanbestedingsprocedure.

Er is nog geen andere gerelateerde aankondiging gevonden.

  1. Aankondiging van het resultaat Huidige aankondiging

    · TED 355476-2026

    Officiële aankondiging openen ↗

De gegevens zijn voor een betere leesbaarheid geordend. De officiële aankondiging en aanbestedingsstukken zijn altijd doorslaggevend.

Bron en betrouwbaarheid

TED · 355476-2026. Gecontroleerd op 22 aug. 2026 13:05.

De gegevens zijn voor een betere leesbaarheid geordend. De officiële aankondiging en aanbestedingsstukken zijn altijd doorslaggevend.

Een fout melden per e-mail