Official summary · Français
What is being procured?
L’EPFL a l’intention d’acquérir un équipement plasma de gravure ionique réactive de métaux pour son Centre de MicroNanoTechnologie (CMi), afin de traiter aussi bien des photomasques carrés que des wafers standards, et de diverses dimensions possibles. Le CMi est une installation de salles blanches dédiée à la micro/nano fabrication, centrale pour l’ensemble des facultés de l’EPFL, ainsi que pour les industriels locaux (>650 utilisateurs actifs par an). Cet équipement sera dédié aux besoins de recherche de pointe en micro et nano fabrication, et plus particulièrement à la gravure de couches de Chrome déposées sur des masques/réticules de lithographie ainsi que sur des wafers.…
Machine translation for guidance. The official summary remains authoritative.
Official summary · Français
L’EPFL a l’intention d’acquérir un équipement plasma de gravure ionique réactive de métaux pour son Centre de MicroNanoTechnologie (CMi), afin de traiter aussi bien des photomasques carrés que des wafers standards, et de diverses dimensions possibles. Le CMi est une installation de salles blanches dédiée à la micro/nano fabrication, centrale pour l’ensemble des facultés de l’EPFL, ainsi que pour les industriels locaux (>650 utilisateurs actifs par an). Cet équipement sera dédié aux besoins de recherche de pointe en micro et nano fabrication, et plus particulièrement à la gravure de couches de Chrome déposées sur des masques/réticules de lithographie ainsi que sur des wafers.…
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Checks to carry out in the official documents. This guide is not an automated document analysis.
- Read the complete documents and amendments
- Check participation conditions and required documents
- Check whether a site visit or meeting is required
- Review award criteria and their weighting
- Check available resources, budget and schedule
- Confirm the submission process and deadline
TED · 688748-2026. Checked on Oct 6, 2026, 11:05 AM.
https://ted.europa.eu/fr/notice/-/detail/688748-2026
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Source and reliability
TED · 688748-2026. Checked on Oct 6, 2026, 11:05 AM.
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