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Schweiz · Labor-, optische und Präzisionsgeräte

Amtlicher Titel · Français

Un équipement plasma de gravure ionique réactive de métaux pour le Centre de MicroNanoTechnologie

EPFL-Scientific Equipment · Schweiz

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Amtliche Zusammenfassung · Français

L’EPFL a l’intention d’acquérir un équipement plasma de gravure ionique réactive de métaux pour son Centre de MicroNanoTechnologie (CMi), afin de traiter aussi bien des photomasques carrés que des wafers standards, et de diverses dimensions possibles. Le CMi est une installation de salles blanches dédiée à la micro/nano fabrication, centrale pour l’ensemble des facultés de l’EPFL, ainsi que pour les industriels locaux (>650 utilisateurs actifs par an).…

Was wird beschafft?
Frist 12.11.2026 23:59 UTC+01:00
Geschätzter WertNicht angegeben
Veröffentlicht06.10.2026
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Amtliche Zusammenfassung · Français

Was wird beschafft?

L’EPFL a l’intention d’acquérir un équipement plasma de gravure ionique réactive de métaux pour son Centre de MicroNanoTechnologie (CMi), afin de traiter aussi bien des photomasques carrés que des wafers standards, et de diverses dimensions possibles. Le CMi est une installation de salles blanches dédiée à la micro/nano fabrication, centrale pour l’ensemble des facultés de l’EPFL, ainsi que pour les industriels locaux (>650 utilisateurs actifs par an). Cet équipement sera dédié aux besoins de recherche de pointe en micro et nano fabrication, et plus particulièrement à la gravure de couches de Chrome déposées sur des masques/réticules de lithographie ainsi que sur des wafers.…

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  1. Vollständige Unterlagen und Änderungen lesen
  2. Teilnahmebedingungen und verlangte Nachweise prüfen
  3. Prüfen, ob eine Besichtigung oder Besprechung erforderlich ist
  4. Zuschlagskriterien und Gewichtung prüfen
  5. Verfügbare Mittel, Budget und Zeitplan prüfen
  6. Einreichungsverfahren und Frist bestätigen

TED · 688748-2026. Geprüft am 06.10.2026, 11:05.
https://ted.europa.eu/fr/notice/-/detail/688748-2026

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Quelle und Verlässlichkeit

TED · 688748-2026. Geprüft am 06.10.2026, 11:05.

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