Aberto TED · Fonte · Idioma: Français

Suíça · Equipamento de laboratório, ótico e de precisão

Título oficial · Français

Un équipement plasma de gravure ionique réactive de métaux pour le Centre de MicroNanoTechnologie

EPFL-Scientific Equipment · Suíça

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Resumo oficial · Français

L’EPFL a l’intention d’acquérir un équipement plasma de gravure ionique réactive de métaux pour son Centre de MicroNanoTechnologie (CMi), afin de traiter aussi bien des photomasques carrés que des wafers standards, et de diverses dimensions possibles. Le CMi est une installation de salles blanches dédiée à la micro/nano fabrication, centrale pour l’ensemble des facultés de l’EPFL, ainsi que pour les industriels locaux (>650 utilisateurs actifs par an).…

O que está a ser adquirido?
Prazo 12 de nov de 2026 23:59 UTC+01:00
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Publicado6 de out de 2026
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O que está a ser adquirido?

L’EPFL a l’intention d’acquérir un équipement plasma de gravure ionique réactive de métaux pour son Centre de MicroNanoTechnologie (CMi), afin de traiter aussi bien des photomasques carrés que des wafers standards, et de diverses dimensions possibles. Le CMi est une installation de salles blanches dédiée à la micro/nano fabrication, centrale pour l’ensemble des facultés de l’EPFL, ainsi que pour les industriels locaux (>650 utilisateurs actifs par an). Cet équipement sera dédié aux besoins de recherche de pointe en micro et nano fabrication, et plus particulièrement à la gravure de couches de Chrome déposées sur des masques/réticules de lithographie ainsi que sur des wafers.…

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  1. Ler todos os documentos e alterações
  2. Verificar as condições de participação e os documentos exigidos
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  6. Confirmar o procedimento e o prazo de apresentação

TED · 688748-2026. Verificado em 6 de out de 2026 11:05.
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TED · 688748-2026. Verificado em 6 de out de 2026 11:05.

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