Sopimus tehty TED · Lähde · Kieli: English

Suomi · Laboratorio-, optiset ja tarkkuuslaitteet

Virallinen otsikko · English

Wafer metrology

VTT Technical Research Centre of Finland Ltd · Suomi

Näytä tällä nimellä julkaistut ilmoitukset
Virallinen yhteenveto · English

The object of the tender was semi-automatic wafer metrology tool (later also “tool”) for measurement of total thickness, TTV (total thickness variation), warp, bow, metallization bumps, trench or via depth and geometric factors in substrates typical in semiconductor industry such as but not limited to silicon wafers, chips, stacked wafers, stacked chips, samples containing mixed oxides, or/and thin materials deposited. The tool had to be compatible with…

Mitä hankitaan?
Määräaika Ei ilmoitettu
Arvioitu arvoEi ilmoitettu
Julkaistu31.8.2026
Avaa virallinen ilmoitus ↗

Virallinen yhteenveto · English

Mitä hankitaan?

The object of the tender was semi-automatic wafer metrology tool (later also “tool”) for measurement of total thickness, TTV (total thickness variation), warp, bow, metallization bumps, trench or via depth and geometric factors in substrates typical in semiconductor industry such as but not limited to silicon wafers, chips, stacked wafers, stacked chips, samples containing mixed oxides, or/and thin materials deposited. The tool had to be compatible with installation in an ISO 4 classified cleanroom. The object of the tender process was described in more detail in the invitation to tender documents.

Ilmoitushistoria

Hankintamenettelyn aikajana

Seuraa tähän hankintamenettelyyn liittyviä päävaiheita ja päivityksiä.

  1. Hankintailmoitus

    · TED 290369-2026

    Avaa virallinen ilmoitus ↗
  2. Tulosilmoitus Nykyinen ilmoitus

    · TED 598555-2026

    Avaa virallinen ilmoitus ↗

Tiedot on jäsennetty helpommin luettaviksi. Virallinen ilmoitus ja hankinta-asiakirjat ovat aina ratkaisevia.

Lähde ja luotettavuus

TED · 598555-2026. Tarkistettu 3.9.2026 klo 11.05.

Tiedot on jäsennetty helpommin luettaviksi. Virallinen ilmoitus ja hankinta-asiakirjat ovat aina ratkaisevia.

Ilmoita virheestä sähköpostitse