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Deutschland · Labor-, optische und Präzisionsgeräte

Amtlicher Titel · Deutsch

Semi-automatic prober for characterization of 200 mm wafers

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik · Deutschland

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Amtliche Zusammenfassung

Supply, delivery, installation, commissioning and integration of a semi-automatic wafer prober system for the electrical and temperature-dependent characterization of 200 mm wafers. The system shall support DC and pulsed I-V as well as low-frequency impedance measurements up to 10 MHz and shall be integrated with the existing Keithley 4200A-SCS characterization system. The scope includes the prober, temperature-controlled chuck, electrical probes…

Was wird beschafft?
Frist 13.10.2026 12:00 UTC+02:00
Geschätzter WertNicht angegeben
Veröffentlicht14.09.2026
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Amtliche Zusammenfassung

Was wird beschafft?

Supply, delivery, installation, commissioning and integration of a semi-automatic wafer prober system for the electrical and temperature-dependent characterization of 200 mm wafers. The system shall support DC and pulsed I-V as well as low-frequency impedance measurements up to 10 MHz and shall be integrated with the existing Keithley 4200A-SCS characterization system. The scope includes the prober, temperature-controlled chuck, electrical probes, optical and camera systems, control hardware and software, cabling and interfaces, installation, commissioning, operator training and integration support.

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  1. Auftragsbekanntmachung Angezeigte Bekanntmachung

    · TED 631856-2026

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Die Daten werden für eine leichtere Lesbarkeit neu strukturiert. Maßgeblich sind stets die amtliche Bekanntmachung und die Vergabeunterlagen.

Quelle und Verlässlichkeit

TED · 631856-2026. Geprüft am 14.09.2026, 11:05.

Die Daten werden für eine leichtere Lesbarkeit neu strukturiert. Maßgeblich sind stets die amtliche Bekanntmachung und die Vergabeunterlagen.

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