Aggiudicato TED · Fonte · Lingua: Deutsch

Germania · Macchinari industriali

Titolo ufficiale · Deutsch

Clustertool for Ion Beam Etching of 300mm wafers

Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. · Germania

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Sintesi ufficiale · Deutsch

Che cosa viene acquistato?

The tender item is an ion beam etching process tool to be used for 300mm wafer fabrication at the FRAUNHOFER IPMS. The systems will be used for the processing of CMOS wafers in a cleanroom class 1000 (approximately class 6 EN ISO 14644-1) production environment. Therefore, it is necessary to fulfill require-ments regarding metal contamination and particle generation compatible with industry standards.

Scadenza Non indicato
Valore stimatoNon indicato
Pubblicato10 lug 2026
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  1. Avviso di aggiudicazione Avviso corrente

    · TED 476033-2026

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Fonte e affidabilità

TED · 476033-2026. Verificato il 23 ago 2026, 15:05.

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