Attribué TED · Source · Langue: Deutsch

Allemagne · Machines industrielles

Titre officiel · Deutsch

Clustertool for Ion Beam Etching of 300mm wafers

Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. · Allemagne

Voir les avis sous ce nom

Résumé officiel · Deutsch

Quel est l’objet du marché ?

The tender item is an ion beam etching process tool to be used for 300mm wafer fabrication at the FRAUNHOFER IPMS. The systems will be used for the processing of CMOS wafers in a cleanroom class 1000 (approximately class 6 EN ISO 14644-1) production environment. Therefore, it is necessary to fulfill require-ments regarding metal contamination and particle generation compatible with industry standards.

Échéance Non communiqué
Valeur estiméeNon communiqué
Publié10 juil. 2026
Ouvrir l’avis officiel ↗

Historique de l’avis

Chronologie de la procédure

Suivez les principales étapes et mises à jour liées à cette procédure de passation.

Aucun autre avis lié n’a encore été identifié.

  1. Avis d’attribution Avis actuel

    · TED 476033-2026

    Ouvrir l’avis officiel ↗

Les données sont restructurées pour en faciliter la lecture. L’avis officiel et les documents du marché font toujours foi.

Source et fiabilité

TED · 476033-2026. Vérifié le 23 août 2026 à 15:05.

Les données sont restructurées pour en faciliter la lecture. L’avis officiel et les documents du marché font toujours foi.

Signaler une erreur par e-mail